Установка осуществляет высокоточную дисковую резку всего спектра материалов электронной промышленности и идеально подходит как для опытных участков, так и для серийных производств.
Полное описание
MicroAce 66 — это 6-дюймовая автоматическая установка дисковой резки полупроводниковых пластин, оснащенная шпинделем 1,8 кВт в стандартной комплектации. Опционально доступны и другие шпиндели для решения широкого спектра задач, в том числе резки толстых материалов. MicroAce 66 комплектуется всеми необходимыми принадлежностями для постановки процесса дисковой резки «под ключ».
40-летний опыт производства систем дисковой резки позволяет компании Loadpoint удовлетворять самые разнообразные требования заказчиков для самой современной продукции в таких отраслях промышленности, как электроника и ИКТ, авиакосмическая отрасль, медицина, оборона, космические исследования, автомобили, датчики и системы управления.
Особенности установки:
- контроль нагрузки шпинделя
- функция проверки врезания
- обнаружение поломки диска
- режимы резки и профилирования
- мониторинг износа диска
- программируемые предупреждения и сигналы тревоги
- ПО NanoControl на русском языке
Область применения:
- пластины Si и Ge
- пластины GaAs
- текстолиты типа FR3/FR4
- керамика и корпуса QFN
- стекло
- пластины InP
- LED’s
- ниобаты и танталаты лития
- пьезокерамика
- сапфир и кварц
Параметры
| Диапазон резки XYZ, мм | 152 x 152 x 16 | ||
| Диаметр режущего диска, мм | 50.8 - 76,2 (101.6 опционально) | ||
| Приводы по осям X, Y, Z | от постоянного тока, бесщеточные | ||
| Точность по оси Y | 3 мкм на 150 мм | ||
| Точность по оси Z | 2 мкм на 10 мм | ||
| Вращение по углу |
360о (непрервыное) с разрешением 0,0004о |
||
| Мощность шпинделя, кВт | стандарт 1.8 (60 000 об/мин) или 3.0 (10 000 об/мин) | ||
| Скорость шпинделя, об/мин | 3 000 - 60 000 | ||
| Изображение камеры | монохромное или цветное | ||
| Совмещение | ручное или автоматическое | ||
| Увеличение камеры | х150 - х200 - х300 | ||
| Режим работы | ручной, полуавтоматический | ||
| Габариты, мм (Д×Г×В) | 570×1215×1555 | ||
| Вес, кг | около 570 | ||
Требования по подключению:
| Электропотребление | 1 ф, ~200 - 240 В, 50/60 Гц, 10 А | ||
| Сжатый воздух | 5.5 бар, 185 л/мин | ||
| Водопотребление | |||
| Охлаждение шпинделя | 3 - 5 бар, 18 - 20 оС, не менее 1 л/мин | ||
| Промывка зоны резания | 3 - 5 бар, 5 - 8 л/мин | ||
| Охлаждение диска | 3 - 5 бар, 5 - 8 л/мин | ||
| Сливное отверстие | ∅ 42 мм | ||
Отзывы
В технологическом процессе также применяется:
установка отмывки после резки
Установка предназначена для отмывки и сушки подложек или пластин диаметром до 300 мм после резки, скрайбирования или других процессов обработки и идеально впишется в компактный участок дисковой резки в комплекте с другими системами Loadpoint.
