Установка плазменной декапсуляции ꜛ DIGIT CONCEPT | iCEMIP
Установка плазменной декапсуляции позволяет производить вскрытие корпусов с содержанием медных, палладиевых, золотых, серебряных или медных проводников при температурах менее 85°С.
Полное описание
Линейка установок плазменной декапсуляции iCEMIP позволяет производить вскрытие корпусов с содержанием медных, палладиевых, золотых, серебряных или медных проводников при температурах менее 85С. Установка подходит для процессов локального травления, депассивации, удаления полиимида, очистки или активации поверхности. Установка доступна в стандартной конфигурации, а также в исполнении с увеличенной рабочей зоной iceMIP XL.
ОСОБЕННОСТИ
- декорпусирование без разрушения проволок Cu, Cu/Pd, Ag, Au, Al
 - отсутствие ультразвуковых частот
 - локальный процесс с автоматическим завершением
 - запатентованный контроллер с отображением параметров процесса в реальном времени
 - интуитивно понятное ПО
 - низкая температура процесса, менее 85°С
 
Параметры
| Модель | iceMIP Standard | iceMIP XL | 
| Размер камеры, мм | 300×300 | 450×450 | 
| Мощность, ВА | 650 | 850 | 
| Генератор, ГГц | 2,45 | 2,45 | 
| Количество газовых линий с расходомерами  | 
	4 | 4 | 
| Тип газа | только О2 или с добавлением CF4 SF6 CHF3 | |
| Автоматический привод по осям | XYZ | XYZ | 
| Габаритные размеры, мм | 475×500×1820 | 710×710×1100 | 
| Вес, кг | 125 | 187 |