Перчаточный бокс для установок шовно-роликовой герметизации ꜛ CMP | HC-GB1200 Glovebox
Высококачественные перчаточные боксы HC-GB применяются для создания контролируемой атмосферы при герметизации полупроводниковых приборов различными методами.
Полное описание
Высококачественные перчаточные боксы HC-GB применяются для создания контролируемой атмосферы при герметизации полупроводниковых приборов различными методами. Упрощенная конструкция боксов сразу содержит все необходимые модули и устройства, такие как вакуумная печь предварительного отжига, шлюз для загрузки и выгрузки изделий, станцию регенерации инертного газа, а также датчики остаточного кислорода и точки росы.
Особенности использования:
- внутренняя светодиодная подсветка, обеспечивает равномерное безбликовое освещение без теневых эффектов
- большое смотровое окно из безопасного стекла толщиной 6 мм обеспечивает максимальный обзор рабочей зоны
- управление параметрами печки или атмосферы с помощью графического контроллера с сенсорным экраном
- автоматическая блокировка, защита от неправильной работы
Параметры
Внутренние размеры рабочей зоны, мм | 1200×1000×950 |
Герметичность | <0,001 об.%/ч, соответствует международному стандарту ISO 10648-2 |
Камера печи предварительного отжига, мм | 500×320×330 |
Метод нагрева |
4-слойная нагревательная пластина трехслойная зона нагрева высота слоя 75 мм |
Метод управления температурой |
градиентный контроль температуры: установка параметров через сенсорный экран |
Диапазон нагрева | от комнатной температуры до 200°С |
Точность поддержания температуры | ±1°С |
Уровень вакуума, мТорр | ≤100 |
Шлюз разгрузки, мм | 500×320×330 |
Контроль точки росы | диапазон точки росы : −100~+20℃ (0-1000PPM), точность: ±2℃ |
Контроль остаточного кислорода |
диапазон: 0-10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000 ppm погрешность: ±2% полной шкалы (0,2 ppm) |
Габаритные размеры (Ш×Г×В), мм | 2300×1000×1900 |
Вес, кг | 800 |
Отзывы
В технологическом процессе также применяется:
линия шовно-роликовой герметизации
Система шовно-роликовой сварки — это специальное оборудование для герметизации металлических, металлокерамических или керамических корпусов радиоэлектронных устройств.