Установка плазменной очистки ꜛ iSP 330 DIGIT CONCEPT
Установка применима для процессов очистки, травления, активации поверхности перед микросваркой, удаления фоторезиста и идеально подходит для применения в исследовательских разработках и на производстве.
Полное описание
Установка iSP Cleaner производства Digit Concept это недорогая и гибкая система плазменной очистки. Установка применима для процессов очистки, травления, активации поверхности перед микросваркой, удаления фоторезиста и идеально подходит для применения в исследовательских разработках и на производстве.
Вся мощность сосредоточена в полках для лучшей однородности плазмы, а интуитивный контроллер отображает параметры процесса в реальном времени и хранение неограниченного числа программ.
ОСОБЕННОСТИ
- процессы очистки, травления, активации поверхности, удаления фоторезиста в одной машине
- компактная и легкая
- изменяемая конфигурация полок, 4 режима работы
- запатентованный контроллер с отображением параметров процесса в реальном времени
- интуитивно понятное ПО
- легкость обслуживания
Параметры
Размер камеры, мм | 229×229×305 |
Размер полки, мм | 178×203 |
Мощность генератора, Вт | 300 |
Частота, МГц | 13,56 |
Газовые линии | 2 (дополнительные по запросу) |
Контроль потока | электронные MFC |
Габаритные размеры, мм | 597×413×508 |
Вес, кг | 54 |