New
Установка применима для процессов очистки, травления, активации поверхности перед микросваркой, удаления фоторезиста и идеально подходит для применения в исследовательских разработках и на производстве.
Полное описание
Установка iSP Cleaner производства Digit Concept это недорогая и гибкая система плазменной очистки. Установка применима для процессов очистки, травления, активации поверхности перед микросваркой, удаления фоторезиста и идеально подходит для применения в исследовательских разработках и на производстве.
Вся мощность сосредоточена в полках для лучшей однородности плазмы, а интуитивный контроллер отображает параметры процесса в реальном времени и хранение неограниченного числа программ.
ОСОБЕННОСТИ
- процессы очистки, травления, активации поверхности, удаления фоторезиста в одной машине
- компактная и легкая
- изменяемая конфигурация полок, 4 режима работы
- запатентованный контроллер с отображением параметров процесса в реальном времени
- интуитивно понятное ПО
- легкость обслуживания
Параметры
| Размер камеры, мм | 229×229×305 |
| Размер полки, мм | 178×203 |
| Мощность генератора, Вт | 300 |
| Частота, МГц | 13,56 |
| Газовые линии | 2 (дополнительные по запросу) |
| Контроль потока | электронные MFC |
| Габаритные размеры, мм | 597×413×508 |
| Вес, кг | 54 |
Отзывы
За дополнительной информацией по продукции обратитесь к специалистам компании «Глобал Микроэлектроника».
