Установка дисковой резки пластин и подложек ꜛ HEYAN | DS-6
Шестидюймовые автоматические машины для дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек могут применяться при любом масштабе производства: мелкосерийном, средне- и крупносерийном.
Полное описание
Установки DS шестой серии это шестидюймовые автоматические машины для дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек. Установки могут применяться как при мелкосерийном, так и в средне- и крупносерийном производстве. Серия 6 оснащена 1,25- или 1,5 кВт шпинделем в стандартной комплектации.
Функция идентификации формы заготовки позволяет точно определять контур обрабатываемой заготовки любой формы (в т.ч. неправильной), а также может резать по форме контура, уменьшить холостой ход резки и, в конечном итоге, повысить производительность.
Программное обеспечение позволяет отслеживать нагрузку на шпиндель, проверять качество реза, определять поломку диска, выполнять коррекцию линии реза. Мониторинг износа диска и корректировка высоты проводятся в постоянном режиме бесконтактным методом.
Основные возможности и преимущества системы:
- автоматическая фокусировка
- функция идентификации формы заготовки
- автоматическое выравнивание заготовки
- бесконтактные датчики износа диска (non-contact sensor — NCS)
- контроль нагрузки шпинделя
- работа с мультизаготовками
- функция проверки реза
- функция обнаружения поломки лезвия (blade broken detector — BBD)
Области применения:
- ИС
- оптика и оптоэлектроника
- связь
- светодиоды
- МЭМС
- медицинское оборудование
Материалы, подходящие для прецизионной резки:
- пластины Si и Ge
- пластины GaAs
- текстолиты типа FR3/FR4
- керамика и корпуса QFN
- стекло
- светодиоды
- пластины InP
- пьезокерамика
- сапфир и кварц