Шестидюймовые автоматические машины для дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек могут применяться при любом масштабе производства: мелкосерийном, средне- и крупносерийном.
Полное описание
Установки DS шестой серии это шестидюймовые автоматические машины для дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек. Установки могут применяться как при мелкосерийном, так и в средне- и крупносерийном производстве. Серия 6 оснащена 1,25- или 1,5 кВт шпинделем в стандартной комплектации.
Функция идентификации формы заготовки позволяет точно определять контур обрабатываемой заготовки любой формы (в т.ч. неправильной), а также может резать по форме контура, уменьшить холостой ход резки и, в конечном итоге, повысить производительность.
Программное обеспечение позволяет отслеживать нагрузку на шпиндель, проверять качество реза, определять поломку диска, выполнять коррекцию линии реза. Мониторинг износа диска и корректировка высоты проводятся в постоянном режиме бесконтактным методом.
Основные возможности и преимущества системы:
- автоматическая фокусировка
- функция идентификации формы заготовки
- автоматическое выравнивание заготовки
- бесконтактные датчики износа диска (non-contact sensor — NCS)
- контроль нагрузки шпинделя
- работа с мультизаготовками
- функция проверки реза
- функция обнаружения поломки лезвия (blade broken detector — BBD)
Области применения:
- ИС
- оптика и оптоэлектроника
- связь
- светодиоды
- МЭМС
- медицинское оборудование
Материалы, подходящие для прецизионной резки:
- пластины Si и Ge
- пластины GaAs
- текстолиты типа FR3/FR4
- керамика и корпуса QFN
- стекло
- светодиоды
- пластины InP
- пьезокерамика
- сапфир и кварц
Параметры
| Установки дисковой резки | DS-613 | DS-616 | DS-623 |
| Диаметр стола, мм | 150 | 150 | 150 |
| Глубина канавки | ≤ 4мм, программируемая | ||
| Скорость вращения шпинделя, об/мин | 3000-40000 | 10000-50000 | 10000-50000 |
| Мощность шпинделя, кВт | 1,25 | 1,5 | 1,5 |
| Запас хода XY, мм | 250×170 | 250×170 | 250×170 |
| Диаметр диска, мм (максимально) | 58 | 58 | 58 |
| Угол вращения стола | 380° | 380° | 380° |
| Бесконтактные датчики | недоступно | опционально | включены |
| Распознавание формы | недоступно | недоступно | опционально |
| Габаритные размеры установки, мм | 580×910×1650 | 580×910×1650 | 580×910×1650 |
| Вес, кг | 500 | 500 | 500 |
