Установка дисковой резки пластин и подложек ꜛ HEYAN | DS-8
Восьмидюймовые автоматические машины для дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек могут применяться при любом масштабе производства: мелкосерийном, средне- и крупносерийном.
Полное описание
Установки DS 8-й серии это 8-дюймовые автоматические машины для дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек. Восьмая серия оснащена 1,5 кВт шпинделем в стандартной комплектации и может быть расширена для более сложных изделий.
Функция идентификации формы заготовки позволяет точно определять контур обрабатываемой заготовки любой формы (в т.ч. неправильной), а также может резать по форме контура, уменьшить холостой ход резки и, в конечном итоге, повысить производительность.
Программное обеспечение позволяет отслеживать нагрузку на шпиндель, проверять качество реза, определять поломку диска, выполнять коррекцию линии реза. Мониторинг износа диска и корректировка высоты проводятся в постоянном режиме бесконтактным методом.
Основные возможности и преимущества системы:
- автоматическая фокусировка
- функция идентификации формы заготовки
- автоматическое выравнивание заготовки
- бесконтактные датчики износа диска (non-contact sensor — NCS)
- контроль нагрузки шпинделя
- работа с мультизаготовками
- функция проверки реза
- функция обнаружения поломки лезвия (blade broken detector — BBD)
Области применения:
- ИС
- оптика и оптоэлектроника
- связь
- светодиоды
- МЭМС
- медицинское оборудование
Материалы, подходящие для прецизионной резки:
- пластины Si и Ge
- пластины GaAs
- текстолиты типа FR3/FR4
- керамика и корпуса QFN
- стекло
- светодиоды
- пластины InP
- пьезокерамика
- сапфир и кварц
Параметры
Установки дисковой резки | DS-820 | DS-830 |
Диаметр стола, дюйм (мм) | 8" (180) | 8" (180) |
Глубина канавки | ≤ 4мм, программируемая | |
Скорость вращения шпинделя, об/мин | 10000-50000 | 10000-50000 |
Мощность шпинделя, кВт | 1,5 | 1,5 |
Запас хода XY, мм | 380×210 | 380×210 |
Диаметр диска, мм (максимально) | 58 | 58 |
Угол вращения стола | 380° | 380° |
Автоматическое выравнивание | опционально | включено |
Бесконтактные датчики | недоступно | опционально |
Распознавание формы | недоступно | опционально |
Габаритные размеры установки, мм | 710×960×1650 | 710×960×1650 |
Вес, кг | 600 | 600 |