Девятидюймовые автоматические машины для дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек могут применяться при любом масштабе производства: мелкосерийном, средне- и крупносерийном.
Запрос отправленный через сайт имеет 100% приоритет перед всеми другими обращениями, включая почту INFO@ и рассматривается специалистом с 9:00 по 18:00 с ПН по ПТ. Полное описание
Установки DS 9-й серии — это наиболее продвинутые системы Heyan Technology для обработки 10- и 12-дюймовых пластин и подложек. Девятая серия оснащена мощным 2,4 кВт шпинделем в стандартной комплектации. Модель DS-9260 является полным автоматом с двумя шпинделями и модулем загрузки и выгрузки изделий.
Функция идентификации формы заготовки позволяет точно определять контур обрабатываемой заготовки любой формы (в т.ч. неправильной), а также может резать по форме контура, уменьшить холостой ход резки и, в конечном итоге, повысить производительность.
Программное обеспечение позволяет отслеживать нагрузку на шпиндель, проверять качество реза, определять поломку диска, выполнять коррекцию линии реза. Мониторинг износа диска и корректировка высоты проводятся в постоянном режиме бесконтактным методом.
Основные возможности и преимущества системы:
- автоматическая фокусировка
- функция идентификации формы заготовки
- автоматическое выравнивание заготовки
- бесконтактные датчики износа диска (non-contact sensor — NCS)
- контроль нагрузки шпинделя
- работа с мультизаготовками
- автоматизация загрузки и выгрузки (модель DS-9260)
- двухлинзовая система технического зрения
- функция проверки реза
- функция обнаружения поломки лезвия (blade broken detector — BBD)
Области применения:
- ИС
- оптика и оптоэлектроника
- связь
- светодиоды
- МЭМС
- медицинское оборудование
Материалы, подходящие для прецизионной резки:
- пластины Si и Ge
- пластины GaAs
- текстолиты типа FR3/FR4
- керамика и корпуса QFN
- стекло
- светодиоды
- пластины InP
- пьезокерамика
- сапфир и кварц
Параметры
| Установки дисковой резки | DS-9100 | DS-9200, DS-9200 plus | DS-9260 |
| Диаметр стола, дюйм (мм) | 10" (250) |
12" (300) опционально 360 мм или 400 мм |
12" (270) |
| Глубина канавки | ≤ 4мм, программируемая | ||
| Скорость вращения шпинделя, об/мин | 6000-60000 | 6000-60000 | 6000-60000 |
| Мощность шпинделя, кВт | 2,4 | 2×2,4 | 2×2,4 |
| Запас хода XY, мм | 300×300 |
310×310 450×450 |
310×310 |
| Диаметр диска, мм (максимально) | 58 | 58 | 58 |
| Угол вращения стола | 380° | 380° | 380° |
| Бесконтактные датчики | базовая опция | базовая опция | базовая опция |
| Распознавание формы | базовая опция | базовая опция | базовая опция |
| Автоматическое выравнивание | базовая опция | базовая опция | базовая опция |
| Загрузка и выгрузка | вручную | автоматически | автоматически |
| Габаритные размеры установки, мм | 900×1050×1800 |
1170×1030×1850 1380×1300×1850 |
1200×1600×1800 |
| Вес, кг | 1050 |
1300 1550 |
2000 |
