Девятидюймовые автоматические машины для дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек могут применяться при любом масштабе производства: мелкосерийном, средне- и крупносерийном.
Девятидюймовые автоматические машины для дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек могут применяться при любом масштабе производства: мелкосерийном, средне- и крупносерийном.
Запрос отправленный через сайт имеет 100% приоритет перед всеми другими обращениями, включая почту INFO@ и рассматривается специалистом с 9:00 по 18:00 с ПН по ПТ. Полное описание
Полуавтоматические установки девятой серии предназначены для прецизионной резки полупроводниковых пластин в лабораторных и среднезагруженных производственных условиях. Это универсальные системы для работы с пластинами до 12″, ориентированные на гибкую настройку технологических режимов и ручную загрузку/выгрузку, что делает их удобными для НИОКР, отработки процессов и мелкосерийного выпуска.
Установки применяются для высокоточной резки кремния, стекла, керамики и других хрупких материалов с использованием визуального позиционирования и программного задания траекторий. Оператор вручную устанавливает пластину, после чего система выполняет автофокусировку, распознавание меток, выравнивание и рез по заданному пути.
Поддерживаются функции многозаготовочной резки, контроля ширины реза, бесконтактного измерения высоты и обнаружения повреждения диска, что повышает воспроизводимость результатов при экспериментах и прототипировании.
Благодаря широкому диапазону скоростей, ходу осей до 450 мм (в зависимости от модели) и обработке пластин до 12″, установки подходят как для исследовательских задач, так и для участков умеренной серийности.
Особенности полуавтоматических систем дисковой резки
- полуавтоматический режим с ручной загрузкой/выгрузкой и автоматизированным циклом выравнивания и резки
- поддержка пластин до 12″
- автоматическое совмещение по меткам с автофокусом и распознаванием формы заготовки
- резка нескольких заготовок на одном чаке после индивидуальной регистрации позиций
- контроль ширины реза с коррекцией базовой линии и траектории
- бесконтактное измерение высоты и система обнаружения поломки диска
- программное задание траекторий и широкий диапазон скоростей подачи
Параметры
| Установки дисковой резки | DS-9100 | DS-9200 | DS-9200 plus |
| Тип | полуавтомат | полуавтомат двухшпиндельная | полуавтомат, двухшпиндельная (расширенная зона) |
| Максимальный диаметр пластины | до 10″ | до 12″ | до 12″ |
| Максимальный размер обработки, мм | φ300 / □250 | φ420 / □360 | φ420 / □360 |
| Глубина реза, мм | ≤ 4 (или по заказу) | ||
| Диапазон оборотов шпинделя, об/мин | 6000–60000 | ||
| Мощность шпинделя | DC 2,4 @ 60000 об/мин |
DC 1,8 / 2,4 @ 60000 об/мин |
DC 1,8 / 2,4 @ 60000 об/мин |
| Ход оси X, мм | 310 | 450 | 480 |
| Ход оси Y, мм | 310 | 450 | 480 |
| Ход оси Z, мм | 40 | ||
| Максимальный диаметр диска, ∅ мм | 58 или 76 | ||
| Разрешение перемещений, мм | 0,0001 | ||
| Повторяемость позиционирования, мм | 0,001 | ||
| Точность одиночного позиционирования, мм | ≤ 0,002 / 5 | ||
| Полная точность позиционирования, мм | ≤ 0,003 / 310 | ≤ 0,003 / 260 | ≤ 0,003 / 260 |
| Диапазон Θ-оси, ° | 380 | ||
| Скорость подачи, мм/с | 0,1–1000 | 0,1–800 | 0,1–800 |
| Электропитание | 5,0 кВА, AC 220 В (3-фазы) | 4,0 кВА, AC 220 В (3-фазы) | 4,0 кВА, AC 220 В (3-фазы) |
| Габариты (Ш×Г×В), мм | 1170×1030×1850 | 1380×1300×1850 | 1580×1300×1850 |
| Масса, кг | 1300 | 1550 | 1650 |
