Девятидюймовые автоматические двухшпиндельные машины — это максимальная автоматизация и контроль качества на каждом этапе. Точная, быстрая и стабильная дисковая резка для самых требовательных процессов дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек.
Девятидюймовые автоматические двухшпиндельные машины — это максимальная автоматизация и контроль качества на каждом этапе. Точная, быстрая и стабильная дисковая резка для самых требовательных процессов дисковой резки и скрайбирования полупроводниковых пластин и подложек.
Запрос отправленный через сайт имеет 100% приоритет перед всеми другими обращениями, включая почту INFO@ и рассматривается специалистом с 9:00 по 18:00 с ПН по ПТ. Полное описание
DS9240 и DS9260 — полностью автоматические двухшпиндельные установки дисковой резки нового поколения, разработанные для высокоточной обработки кремниевых пластин и других твёрдых и хрупких материалов, включая стекло, керамику, арсенид галлия, ниобат лития и сапфир.
Высокая точность позиционирования и современные системы визуального контроля обеспечивают стабильное качество реза и минимальные потери материала.
Оборудование реализует полный производственный цикл: автоматическую загрузку и позиционирование пластин, выравнивание и калибровку, прецизионную резку, промывку и сушку готовых чипов. Поддержка стандарта SECS/GEM обеспечивает интеграцию в MES-системы и включение установок в современные автоматизированные производственные линии.
Автоматические двухшпиндельные системы дисковой резки применяются в производстве интегральных схем, оптоэлектроники, MEMS, сенсоров, светодиодов и фотонных устройств.
Ключевые функции двухшпиндельных систем
- полностью автоматический цикл: загрузка, позиционирование, резка, отмывка, сушка и выгрузка
- система оптического распознавания и автофокусировки для определения контуров и ориентации заготовки
- коррекция меток и траектории резки для повышения точности процесса
- контроль износа и поломки диска (BBD) для снижения риска брака
- бесконтактное измерение высоты (NCS) для защиты поверхности и увеличения ресурса инструмента
- SECS/GEM-интерфейс для подключения к MES и удалённого управления параметрами
- центробежная очистка и сушка без механического воздействия
- высокая производительность: точность позиционирования до 2 мкм, скорость осей до 1000 мм/с
Параметры
| Установки дисковой резки | DS9240 | DS9260 |
| Диаметр обрабатываемой пластины | до 8″ | до 12″ |
| Скорость шпинделя, об/мин | 6000–60000 | |
| Мощность шпинделя | DC, 2 × 1,8 / 2,4 кВт | DC, 2 × 2,4 кВт |
| Глубина надреза, мм | ≤ 4 (или по заказу) | |
| Разрешение перемещения, мм | 0,0001 | |
| Точность одиночного позиционирования, мм | ≤ 0,002 / 5 | |
| Полная точность позиционирования, мм | ≤ 0,002 / 210 | ≤ 0,003 / 310 |
| Эффективный ход по X / Y, мм | 210 / 210 | 310 / 300 |
| Эффективный ход по Z, мм | 30 | 40 |
|
Максимальный диаметр диска,∅мм |
58 | |
| Диапазон скорости подачи, мм/с | 0,1–1000 | |
| Сжатый воздух, МПа | 0,6–0,8 (макс. 450 л/мин) | |
| Расход охлаждающей воды, МПа | 0,2–0,4 (3,0 л/мин) | |
| Габариты (Ш×Г×В), мм | 1080×1180×1820 | 1200×1600×1800 |
| Масса, кг | ~1500 | ~2000 |
