Установки монтажа пластин на плёнку-спутник ꜛ HEYAN | M80/M120
Установка наклейки пластин на пленку-спутник задаёт стандарты гибкости для аналогичного оборудования в своем классе. Возможна работа со всеми типами пленок.
Полное описание
Установки M80 и M120 предназначены для ручного монтажа полупроводниковых пластин на адгезионную плёнку-носитель перед последующими операциями резки и корпусирования. Это компактные настольные системы, ориентированные на лабораторное и мелкосерийное применение, где важны повторяемость результата, простота переналадки и минимальные требования к инфраструктуре. Установки обеспечивают ручную загрузку/выгрузку пластин, равномерное натяжение и прикатку плёнки, нагрев рабочего стола в диапазоне от комнатной температуры до 150°C, а также антистатическую защиту, что снижает риск повреждения чувствительных кристаллов. Модель М80 подходит для производств с диаметром пластин до 8 дюймов, а в случае 10 или 12 дюймовых заготовок используется модель М120.
Основные возможности системы
- поддержка пластин 6"—8″ (M80) и 12″ (M120) с ручной загрузкой и выгрузкой
- работа со стандартной синей или UV-плёнкой толщиной 0,05–0,2 мм и защитным слоем
- нагреваемый рабочий стол (от комнатной температуры до 150°C) для стабильной адгезии плёнки
- антистатическая тефлоновая поверхность стола, снижающая риск повреждения кристаллов
- компактное настольное исполнение и питание от AC 220 В — не требуют сложной инфраструктуры
- типовая производительность до ~80 пластин/час для M80 и ~70 пластин/час для M120
Параметры
| M80 | M120 | |
| Максимальный размер пластины | 6″–8″ | 12″ |
| Тип плёнки | Blue film / UV film | Blue film / UV film |
| Толщина плёнки, мм | 0,05–0,2 | 0,05–0,2 |
| Длина рулона плёнки, м | ≤100 | ≤100 |
| Ширина плёнки, мм | 270–330 | 330–400 |
| Рабочий стол | антистатическое тефлоновое покрытие | |
| Температура нагрева стола, °C | от комнатной до 150 °C | |
| Подача газа, МПа |
0,5 чистый сухой сжатый воздух |
|
| Толщина пластин, мкм | 150–800 | 150–800 |
| Производительность, пластин/час | ~80 | ~70 |
| Электропитание | AC 220 В, 10 A | AC 220 В, 12 A |
| Габаритные размеры (Ш×Г×В), мм | 360×860×560 | 560×1000×600 |
| Вес, кг | 50 | 60 |