Сканирующий акустический микроскоп ꜛ AcouLab SAM-MINI
Высокая скорость сканирования, широкий диапазон частот, оптимальное разрешение при очень небольших габаритах делают акустический микроскоп SAM-MINI эффективным и современным решением для неразрушающего контроля.
Полное описание
Ультразвуковая акустическая микроскопия, как метод неразрушающего контроля, позволяет выявлять дефекты или особенности внутренней структуры приборов или компонентов в тех случаях, когда другие методы сканирования оказываются неэффективными.
Базовым способом поиска дефектов является эхо-метод (метод отраженных импульсов). В однородной среде твердого тела любая граница раздела будет приводить к отражению волны. Рабочая голова микроскопа регистрирует обратный сигнал, позволяя по эхограмме определить размеры дефекта и его расположение.
В микроэлектронике акустическая микроскопия применяется для выявления дефектов выводов flip-chip микросхем, пустот и расслоений, образующихся при монтаже и заливке кристаллов, трещин и повреждений микросхем и т. п. К другим применениям технологии ультразвукового сканирования можно отнести поиск следов затертой маркировки электронных компонентов, осуществляя непрерывный контроль производства от входа до выхода.
Основные возможности системы:
- простой принцип действия
- высокая проникающая способность акустической волны
- высокая чувствительность, позволяющая распознавать субмикронные дефекты
- возможность объемного контроля
- возможность исследования широкой номенклатуры помимо изделий электронной промышленности
- поиск внутренних дефектов в компонентах flip-chip
- выявление дефектов герметизации в микросхемах
- выявление следов перемаркировки компонентов
- контроль расслоения на подложках и печатных платах
- поиск дефектов монтажа кристаллов (загрязнения, расслаивание адгезива, пустоты и др.)
- выявление дефектов в LTCC
- контроль монтажа на уровне пластин FI/FO WLP
- контроль монтажа MEMS/MOEMS
- безопасность для оператора и среды
Возможности программного обеспечения:
- операционная система Windows™7
- автоматический и ручной режимы работы
- автоматическая фокусировка
- сканирование вида «сигнал-эхо» и «сквозной режим»
- сканирование в режимах: A, B, C — Scan, FFT — Scan, TOF 3D, Multi-Layer Scan, Tray Scan, Strip Scan
Рис. 1 — AcouLab SAM-MINI ꜛ программное обеспечение
|
Рис. 2 — AcouLab SAM-MINI ꜛ результат сканирования
|
Параметры
Диапазон частот | до 150 МГц |
Область сканирования, мм | до 350×350 |
Высота образца, мм | до 70 |
Область размещения образца, мм | 430×410 |
Разрешение системы позиционирования |
0,5 мкм по оси X, линейный привод 1 мкм по оси Y, шаговый двигатель 2,5 мкм по оси Z, шаговый двигатель |
Скорость сканирования, мм/сек | до 500 |
Монитор | 24” LCD |
Электропитание | 230 В, 50 Гц, 1 фаза |