Автоматическая установка утонения пластин HG5260 создана для автоматизированного производства где требуется прецизионный контроль параметров с сохранением производительности. Автоматическая загрузка и выгрузка пластин, два мощных шпинделя 4,8 кВт, три рабочих стола и повторяемость 0,5 мкм — все это позволяет использовать HG-5260 даже на самых требовательных участках.
Запрос отправленный через сайт имеет 100% приоритет перед всеми другими обращениями, включая почту INFO@ и рассматривается специалистом с 9:00 по 18:00 с ПН по ПТ. Полное описание
Автомат шлифовки и утонения HG5260 представляет собой систему для утонения полупроводниковых пластин с двумя шпинделями и тремя столами, автоматическим захватом пластин, автоматизированной загрузкой/выгрузкой изделий. Машина оснащена высокопрочными шпинделями на воздушных подшипниках и четырехосевым роботизированным манипулятором для перемещения заготовок, а также широкодиапазонным толщиномером с высоким разрешением.
Установка шлифовки и утонения совместима со стандартными пластинами SiC и позволяет автоматически выбирать размер пластины без переналадки оборудования. Существует две модификации автомата: модель 5240 для работы с пластинами 6-8 дюймов и 5260 для диаметров 8-12 дюймов.
- мощность шпинделей 4,8 кВт, низковибрационное исполнение
- диапазон скорости вращения 1000-4000 об/мин
- высокоточный толщиномер: диапазон измерения 0-4 мм, с разрешением 0,1 мкм, повторяемость: ±0,5 мкм
- минимальная толщина пластины после утонения — 100 мкм, отклонение ±3 мкм
- шероховатость поверхности Ra≤0,02 мкм (круг #2000)
- автоматический 4-осевой роботизированный манипулятор для захвата пластин
- мощная двухжидкостная технология очистки задней стороны пластины
- автоматическая регулировка TTV на шлифованной поверхности пластины
Параметры
| HG-5240 | HG-5260 | ||
| Рабочая зона | Область обработки, макс., мм | ∅200 | ∅300 |
| Шпиндель | Скорость вращения шпинделя, об/мин | 1000-4000 | 1000-4000 |
| Мощность двигателя, кВт | 4,8 (для SiC - 6,3) | 4,8 | |
| Ось Z | Макс. ход, мм | 120 | 120 |
| Диапазон размеров заготовки, мм |
200 |
200 | |
| Единичный индекс, мм | 0,0001 | 0,0001 | |
| Скорость подачи, мм/сек | 0.0001-0.050 | 0.0001-0.080 | |
| Макс. скорость, мм/сек | 50 | 50 | |
| Габаритные размеры, мм | 1400×3300×1800 | 1400×3300×1800 | |
| Вес, кг | 5000 | 5100 | |
