Автоматическая установка монтажа пластин ꜛ SINTAIKE | STK-7200
Безупречная фиксация пленки и защита поверхности. Полностью автоматический вакуумный монтаж без роликов. Идеальное решение для тонких и чувствительных пластин.
Безупречная фиксация пленки и защита поверхности. Полностью автоматический вакуумный монтаж без роликов. Идеальное решение для тонких и чувствительных пластин.
Полное описание
STK-7200V — автоматическая система для вакуумного наклеивания пленки на пластины (wafer) диаметром 6″ и 8″. Установка применяется на этапах полупроводникового производства, где требуется точное и бережное нанесение защитной пленки на чувствительные поверхности после резки, шлифовки или перед упаковкой.
Вакуумная технология исключает механическое воздействие роликов, что снижает риск повреждения поверхности, особенно при работе с тонкими и хрупкими пластинами.
Система поддерживает стандартные рамки для пластин 6″ и 8″ и оснащена роботизированными манипуляторами с захватами Бернулли, тефлоновым покрытием и полной антистатической защитой. Установка также может быть сконфигурирована с роликовой системой вместо вакуумной (опция).
Ключевые особенности системы монтажа пластин
- вакуумное наклеивание без роликов — бережная фиксация пленки, минимальный контакт с поверхностью
- опциональный роликовый режим — для специфических требований процесса
- совместимость с 6″ / 8″ металлическими рамками для пластин
- робот JEL и калибратор — точное позиционирование пластины перед наклеиванием
- антистатическая защита всех контактных элементов
- полностью автоматический цикл: загрузка, позиционирование, наклеивание, выгрузка
- компактная конструкция — удобная интеграция в производственную линию
Параметры
| Поддерживаемый диаметр пластины | 6″, 8″ |
| Тип монтажа пленки | вакуумный (без роликов); роликовый — опция |
| Материалы пластин | стандартные кремниевые пластины, чувствительные материалы |
| Тип захвата | Бернулли |
| Перемещение пластин | роботизированное |
| Контроль натяжения и обрезка пленки | автоматически |
| Габариты (Ш×Г×В), мм | 1750×1350×1800 |
| Вес, кг | 890 |