Установка демонтажа пластин с временного носителя ꜛ WUSHI | WDB1S080
Автоматическая установка демонтажа пластин с временного носителя от Wushi Microelectronics — это полуавтоматическая система для точного и аккуратного разделения утонённых пластин и временных носителей.
Полное описание
Установка WDB1s080 использует метод мягкой подачи, уникальную конструкции вакуумного захвата для подачи и разделения. Это позволяет реализовать многорежимное деликатное разделение, в режимах отрицательного давления, положительного давления или при отсутствии давления; Машина предотвращает выход клея и появление металлических царапин на обратной стороне. Используемый метод разделения: нагрев и сдвиг. Для повышения производительности установка комплектуется сразу тремя рабочими столами для параллельности процеса.
- поддержка пластин и носителей диаметром 2-8 дюймов
- обработка изделий из SiC, Si, InP, GaAs, сапфир, стекло и т.д.
- метод разделения: нагрев и сдвиг
- полуавтоматическая работа
- три рабочих стола
Параметры
Параметр (в зависимости от наличия модуля) | |
Диаметр пластин и носителей, дюйм | 2’’–8’’ |
Рабочая температура сверху | 30-200°С |
Точность поддержания температуры сверху | ±1,5°С |
Рабочая температура снизу | 30-200°С |
Точность поддержания температуры снизу | ±2°С |
Скорость нагрева (верх/низ) | 20°С/мин |
Охлаждение снизу | водяное до 20 °С/мин |
Скорость разделения, мм/сек | 0,1–5 |