Мишени для напыления используются в технологиях корпусирования интегральных схем для осаждения различных материалов на подложки и полупроводниковые пластины.
Запрос отправленный через сайт имеет 100% приоритет перед всеми другими обращениями, включая почту INFO@ и рассматривается специалистом с 9:00 по 18:00 с ПН по ПТ. Полное описание
Мишени для напыления могут быть разделены на планарные и вращающиеся мишени в соответствие с формой. К планарным мишеням в основном относятся круглые и прямоугольные мишени, которые имеют определённую толщину. Планарная мишень для напыления соединяется с устройством напыления с помощью метода спекания, материал осаждается на поверхность в условиях вакуума, а затем проходит сквозь неё.
Компания AbleTarget производит плоские планарные мишени для напыления для различных процессов и областей применения, включая покрытия для инструментов, декоративные покрытия, функциональные покрытия, мультидуговое напыление и многое другое.
Прямоугольная форма
|
Вращающиеся мишени для напыления изготавливаются либо плазменным напылением на опорную трубу, либо производится из цельного материала.
Производимая длина может составлять более 3000 мм. Относительная плотность: > 99%
|
Круглая форма
|
Основные особенности:
Правильно подобранная и изготовленная мишень обеспечивает высокое качество напыления. К основным характеристикам мишеней относятся:
- материал мишени
- чистота материала
- содержание абсорбированных газов (содержание газов напрямую связано с процессом изготовления)
Допуски на размер мишени:
Каждая установка для напыления тонких пленок предъявляет свои требования к допускам на размеры мишеней. Типичные мишени имеют следующие допуски на размер: 8,000’’ диаметр (±0,005) ×0,250’’ толщина (±0,010).
Правильно заданные допуски существенно понижают риск растрескивания мишени, и образования дуги.
Параметры
| Материал | Состав, % | Чистота | |
| Ag | серебро | 100% | 3N7, 4N, 5N |
| Al | алюминий | 100% | 5N, 5N5 |
| AlSi | алюминий кремний | варьируется | 5N, 5N5 |
| AlSiCu | алюминий кремний медь | варьируется | 5N, 5N5 |
| Au | золото | 100% | 4N, 5N |
| AuAs | золото мышьяк | AuAs0,4 | 4N, 5N |
| AuGe | золото германий | AuGe12 | 4N, 5N |
| AuPt | золото платина | варьируется | 4N |
| AuSb | золото сурьма | AuSb0,5 (30) | 4N, 5N |
| AuSn | золото олово | AuSn20 (25, 30) | 4N, 5N |
| AuZn | золото цинк | AuZn2 (5) | 4N |
| CoFeB | кобальт железо бор | варьируется | 4N, 4N5 |
| Cr | хром | 100% | 3N, 3N5 |
| CrNiAl | хром никель алюминий | варьируется | 3N, 3N5 |
| CrSi | хром кремний | CrSi50 | 3N |
| Cu | медь | 100% | 4N5, 5N |
| CuCr | медь хром | CuCr50 | 3N5 |
| CuNi | медь никель | варьируется | 3N5 |
| Hf | гафний | 100% | 3N (excl. Zr) |
| Ir | иридий | 100% | 3N |
| Mo | молибден | 100% | 3N5 |
| MoSi | молибден кремний | 100% | 3N5 |
| Ni | никель | 100% | 3N5 |
| NiAl | никель алюминий | варьируется | 3N5, 3N8 |
| NiCr | никель хром | варьируется | 3N, 3N5 |
| NiCrAl | никель хром алюминий | варьируется | 3N, 3N5 |
| NiCrAlSi | никель хром алюминий кремний | 20% | 3N, 3N5 |
| NiCrSi | никель хром кремний | 100% | 3N, 3N5 |
| NiPt | никель платина | варьируется | 3N |
| NiV | никель ванадий | NiV7 | 3N5 |
| OsRu | осмий рутений | OsRu20% | 3N5 |
| Pd | палладий | 100% | 3N5, 4N |
| Pt | платина | 100% | 3N5, 4N |
| Ru | рутений | 100% | 2N8, 3N, 3N8 |
| Si | кремний | 100% | 5N |
| Ta | тантал | 100% | 3N5 |
| TaAl | тантал алюминий | варьируется | 3N5 |
| TaSi | танатл кремний | 100% | 3N, 4N, 4N5, 5N |
| Ti | титан | 100% | 3N, 4N, 4N5, 5N |
| TiW | титан-вольфрам | TiW10 | 4N5 |
| W | вольфрам | 100% | 3N5 |
| WSi | вольфрам кремний | TiW10 | 4N5 |
