Сканирующий акустический микроскоп ꜛ AcouLab SAM-MINI

Акустическая микроскопия — это метод неразрушающего контроля, позволяющий выявлять скрытые дефекты в однородных и разнородных объектах и структурах. В микроэлектронике акустическая микроскопия применяется для выявления дефектов выводов flip-chip микросхем, пустот и расслоений, образующихся при монтаже и заливке кристаллов, трещин и повреждений микросхем и т.п.

Базовым способом поиска дефектов является Эхо-метод (метод отраженных импульсов). В однородной среде твердого тела любая граница раздела будет приводить к отражению волны. Рабочая голова микроскопа регистрирует обратный сигнал, позволяя по эхограмме определить размеры дефекта и его расположение.

Преимущества установки:

• простой принцип действия
• широкий диапазон частот
• высокая проникающая способность акустической волны
• высокая чувствительность, позволяющая распознавать субмикронные дефекты
• возможность объемного контроля
• безопасность для оператора и среды
• возможность исследования широкой номенклатуры изделий помимо изделий электронной промышленности

Области применения:

• Flip-chip выводы корпусированных микросхем
• дефекты герметизации в корпусированных микросхемах
• трещины и расслоения кристаллов в корпусированных микросхемах
• расслоения на подложках и многослойных печатных платах
• дефекты монтажа кристаллов (загрязнения, расслаивание адгезива, пустоты в пайке и др.)
• дефекты в LTCC

Возможности программного обеспечения:

• операционная система Windows^™7
• автоматический и ручной режимы работы
• автоматическая фокусировка
• сканирование вида «сигнал-эхо» и «сквозной режим»
• сканирование в режимах: A, B, C — Scan, FFT — Scan, TOF 3D, Multi-Layer Scan, Tray Scan, Strip Scan

Рис. 1 — AcouLab SAM-MINI ꜛ программное обеспечение

Рис. 2 — AcouLab SAM-MINI ꜛ результат сканирования