Электронный сканирующий микроскоп ꜛ Motic | Easy NanoScan
Easy NanoScan — это компактный настольный сканирующий электронный микроскоп с высоким разрешением до 5 нм, полностью автоматическим управлением столом и интуитивным интерфейсом.
Полное описание
Easy NanoScan — настольный сканирующий электронный микроскоп нового поколения, созданный компанией Motic для быстрой и удобной морфологической и элементной аналитики. Установка сочетает компактность, простоту управления и высокое качество визуализации, делая передовые технологии доступными даже для небольших лабораторий.
Система оснащена детекторами SE и BSE, что позволяет получать детализированные изображения и спектры без сложной настройки пучка. Полностью электрический предметный стол и интуитивный интерфейс упрощают работу оператора, а поддержка интеграции с системами EDS (Oxford, Bruker, Thermo и др.) обеспечивает гибкость в анализе состава материалов.
Easy NanoScan находит применение в полупроводниковой и электронной промышленности (светодиоды, микросварки, полимерные покрытия), материаловедении, фармацевтике и даже биомедицине. Устройство поддерживает анализ нестабильных и влажных образцов, обеспечивая точный морфологический и элементный анализ на наноуровне.
Основные возможности системы
- разрешение до 5 нм, увеличение до ×200000
- не требует юстировки электронного пучка
- замена нити накаливания — 3 минуты
- полностью электрический предметный стол, простое управление
- поддержка автоматической съёмки по шаблону
- объединение SE и BSE изображений для комплексного анализа
Дополнительно доступны опции
- антивибрационное исполнение
- двойная камера
- водоохлаждаемый стол
- модули напыления материалов (MiniCoater)
Параметры
| Система визуализации | |
| Разрешение |
5 нм при 30 кВ (SE) 10 нм при 30 кВ (BSE) |
| Электронная пушка (катод) | вольфрамовый, филаментный, термоэмиссионный |
| Детектор |
Standard Secondary Electron (SE) Backscattered Electron Detector (BSE) |
| Увеличение | ×10–×200000 |
| Ускоряющее напряжение, кВ | 1–30 кВ |
| Параметры рабочей камеры | |
| Рабочая дистанция | 5–40 мм |
| Обзорная сцена | X,Y: 40 мм, Z: 5–40 мм, T: –90–90° (ручной режим), R: 360° |
| Оси движения | моторизованные |
| Максимальный размер сэмпла | 80(D)×40(H) мм |
| Навигация | Optical Real Image |
| Вакуумная система | полностью автоматизированная |
| Выход на рабочий режим | вакуум: <90 сек., вентилирование: <10 сек. |
| Режим вакуума | High Vacuum Mode (< 9×10⁻³ Pa) / Low Vacuum Mode |
| Помпа |
система электрических клапанов (компрессор НЕ требуется) турбомолекулярный насос и роторно-лопастной насос |
| Система контроля | |
| Рабочая станция | компьютер-моноблок, дисплей 24″ |
| Операционная система | Microsoft Windows 11 |
| Режимы отображения | |
| Фокусировка | 320×240 пикселей, с возможностью изменения размера |
| Предварительный просмотр | 800×600 пикселей |
| Мгновенная фотосъёмка | до 3200×2400 пикселей |
| Замедленное воспроизведение |
применяется как для предварительного просмотра, так и для режима фокусировки |
| Формат изображений | JPEG, TIFF, BMP, PNG |
| Двойная камера | опция |
| Водоохлаждаемый стол | опция |
| Антивибрационная система | опция |
| Модули напыления материалов | опция |
| Габариты сканирующего блока | 410×440×520 мм |