Надёжная и проверенная временем линия шовно-роликовой герметизации гарантирует, что каждый корпус, заваренный с её помощью, будет оставаться герметичным в течение всего жизненного цикла.
Полное описание
Линия шовно-роликовой герметизации предназначена для герметизации металлокерамических корпусов прямоугольной или круглой формы с применением шовно-роликовой сварки в атмосфере сухого азота.
В базовой конфигурации в состав линии входит:
- установка сварки
- печь предварительного вакуумного отжига SVM
- основной скафандра системы GB
- шлюз для выгрузки изделий
Опциями линии герметизации являются мониторы содержания кислорода, газов галогенной группы и влажности, модули автоматизации, система рециркуляции газа и другие модули.
Модульный принцип конструкции линий герметизации Pyramid обеспечивает взаимозаменяемость отдельных электрических и механических узлов, что сокращает время простоев при необходимости ремонта и диагностики. В любое время линия может быть расширена за счёт дополнительных модулей скафандров, в которых можно разместить установки сварки или шлюзы для хранения или перемещения изделий между составными частями линии.
Полностью переработанная установка сварки HPS создана на платформе успешной серии 9000, применяемой во всем мире в самых ответственных изделиях военно-космического и оптоэлектронного назначения. Доступны две модификации сварочной станции:
- 10–19 — работа с одиночными корпусами
- Orthrus — работа с группой корпусов в автоматическом режиме включая захват и позиционирование крышки на корпусе, прихватку и последующий процесс сварки
Функция прихватки является стандартной для всех моделей. Положение прихватки программируемое, по умолчанию для прихватки принята середина стороны крышки. Однако, для упрощения работы оператора возможна поставка отдельно-стоящей станции прихватки MWH, которая оснащена таким же сварочным трансформатором с контроллером мощности и длительности импульса, что и основная установка.
Для гарантированного удаления влаги из корпуса (что является необходимым требованием при работе с бескорпусными кристаллами) проводят:
- предварительный отжиг изделий в вакуумной печи SVM
- герметизацию в специальном скафандре GB под избыточным давлением «сухой» атмосферы, чаще всего — азота с точкой росы ниже, чем минус —65°C. Азот подаётся в скафандр через датчик расхода и равномерно распределяется, проходя по системе трубок.
Для выгрузки изделий после герметизации во внешнюю среду используется шлюз, герметично соединённый со скафандром. Исполнение печи, скафандр и шлюза — нержавеющая сталь, сварка и полировка внутренних швов — гарантирует герметичность линии при проведении процесса.
Герметизация металлокерамических прямоугольных и цилиндрических корпусов с плоскими или ступенчатыми выводами.
Типы корпусов:
- металлокерамический, с коваровой рамкой
- металлический (ковар, сталь)
- металлокерамический типа LCC
- металлокерамический с высокотемпературной пайкой на золото-оловянную преформу (только в версии HF)
Параметры
| Модель | HPS 10-19 | HPS Orthrus |
| Качество герметизации | лучше чем 1×10-9 мбар | |
| Размер корпусов, мм | от 3 до 152 |
от 3 до 60 в автоматическом цикле от 3 до 200 — в ручном цикле |
| Точность позиционирования крышек | — | ±50 мкм |
|
Скорость перемещения электродов, мм/сек |
75 | 100 |
| Усилие сварки, грамм | 200–9000 | |
| Материал электродов | Elconite (W/Cu) и Mallory 100 (W/Cu/Ni) | |
| Угол наклона рабочей поверхности | 5, 7, 12, 15 град. | |
| Ширина зоны контакта, мм | 2, 4, 6 | |
| Тип трансформатора | AC, DC, HF | |
Отзывы
В технологическом процессе также применяется:
многофункциональный автомат монтажа кристаллов
FineXT 5205 — это современное гибкое решение для серийного многономенклатурного производства на базе надежной и гибкой платформы портального типа с унифицированной архитектурой.
установка микросварки и тестирования
Установка серии 56ХХi — это сварка в полуавтоматическом и автоматическом режимах любым методом сварки, а также тестирование соединений в одной настольной машине. Универсальность и лучшее соотношение цена/качество/возможности.
установка плазменной обработки
Весь спектр методов плазменной обработки — от режима безопасной очистки чувствительных к электронному воздействию кристаллов до интенсивного режима RIE.
