PEO 6XX LTCC ꜛ универсальная камерная печь PEO 6XX LTCC ꜛ универсальная камерная печь

Печи серии РЕО оснащены кварцевой быстросъёмной рабочей камерой и способны выполнять множество технологических задач, а компактные размеры значительно экономят площадь и позволяют установку двух печей одна над другой.

Печи серии РЕО — компактные, экономичные установки, способные выполнять множество технологических задач. Все печи серии оснащены кварцевой быстросъёмной рабочей камерой цилиндрической формы, закрывающейся конической крышкой, которая смонтирована на выдвижной подпружиненной панели загрузочной дверцы. Такая конструкция позволяет достичь хорошей теплоизоляции внутреннего объёма камеры при закрытой дверце. Оси направляющих с шарикоподшипниками обеспечивают плавное закрывание печи. Во время работы печи дверца блокируется. Дверца с автоматическим открыванием/закрыванием предлагается как дополнительное оборудование.

Печь нагревается двенадцатью проволочными резистивными элементами из сплава Kanthal®, рассчитанного на температуры до 1450°C. Керамические оси в проволочной обмотке из сплава Kanthal®, формируют три независимо программируемые зоны нагрева: верхнюю, среднюю и нижнюю. В дополнение, печь оснащена двумя дисковыми нагревателями — один находится в заднем торце камеры и один — на конической крышке загрузочной дверцы, в передней части камеры. Эти два нагревателя можно также программировать независимо от остальных. Такое распределение нагревателей существенно увеличивает полезный объём печи — изделия можно ставить в несколько ярусов вплотную к торцам камеры, получая для всех изделий идентичные тепловые режимы. Значения температур, полученные с помощью термопар, установленных на пластинах или подложках (при пробной загрузке) в пяти зонах рабочей камеры, позволяют прецизионно настроить работу каждой группы термоэлементов и обеспечить заявленную равномерность температуры в серийном производстве.

Теплоизоляция вокруг рабочей камеры рассчитана на продолжительную работу при 1400°C. Конструктивно изоляция выполнена из двух половин, между которыми на каждой из сторон камеры имеется щель. В режиме программируемого остывания через эти щели вентилятором подаётся комнатный воздух, который охлаждает внешнюю сторону кварцевой камеры, нагревательные элементы и теплоизоляцию. Максимальная скорость остывания — менее часа с температуры 1100°C до температуры ниже 100°C. Подача холодного воздуха внутрь камеры во время выполнения термического цикла не производится.

Для защиты кварцевых деталей от деформации рабочая температура ограничена 1150°C. Для работы при более высоких температурах предусмотрены другие материалы, и такое исполнение печи делается на заказ. В стандартном исполнении печь оснащена двумя независимыми программируемыми газовыми линиями с ручной регулировкой скорости потока. В стандартном исполнении трубопроводы исполнены из нержавеющей стали с фитингами фирмы Swagelok®. По заказу возможно дооснащение дополнительными газовыми линиями, контроллерами массового расхода газа (MFC), газовой распределительной панелью, фитингами VCR® и трубопроводами из нержавеющей стали круговой сварки.

Герметизирующее покрытие из PTFEвоздушного охлаждения (Teflon®) в PEO-601 позволяют достичь значения утечки по гелию ~10-4 mbarl/s, максимального установившегося значения вакуума ~10-2 mbar и уровня содержания кислорода в переделах 10 ppm. Это ограничивает возможности этой модели в осаждении химических паров (LPCVD) и схожих процессах. Это единственное отличие PEO-601 от остальных печей серии. Водоохлаждаемая герметизация Viton® в моделях PEO-603/612 и будущих моделях серии позволяют достичь уровня утечки по гелию ~ 10-9 mbarl/s, максимального установившегося значения вакуума менее 5×10-6 mbar и уровня содержания кислорода порядка 1 ppm.

Компактные размеры печей PEO значительно экономят площадь и позволяют установку двух печей одна над другой. Используемый алгоритм работы (загрузка при комнатной температуре, нагрев, обработка и быстрое остывание) позволяет экономить энергию, т.к. отсутствует длительное простаивание печи в нагретом состоянии между загрузками.

Печь подходит для установки лицевой панели в чистых комнатах класса выше 1,000.

Конфигурация, рекомендуемая для проведения спекания удаления связующего и окончательного обжига LTCC-структур отработана на многих предприятиях Европы, включая институт Фраунгхофера — отделение технической керамики IKTS, технический университет Ильменау — TUI и нескольких производственных площадках в Германии, Франции, Турции, Великобритании и др.

Для формирования из собранного и спрессованного сырого пакета прочной монолитной структуры, необходимо удаление органического связующего, входящего в состав исходной керамической ленты и последующее спекание заготовки при температуре, достаточной для образования механических связей между частицами керамики.


Особенности установки:

  • время остывания с 1100° до 100°C — менее часа
  • различные варианты конфигурации и широкий выбор оснастки
  • подходит для установки лицевой панели в чистых комнатах класса выше 1,000
  • высокая точность поддержания температурного профиля
PEO-601 PEO-603 PEO-604 PEO-612
Размер камеры, мм Ø 112  Ø 230  Ø 230  Ø 336 
Емкость камеры (макс. загрузка) 40 пластин, 100 Ø мм, керамические подложки: 40 шт. 2"×2″ или 20 шт. 4"×4″ 60 пластин, 200 мм Ø, керамические подложки: 400 шт. 2"×2″ или 20 шт. 4"×4″ 60 пластин, 200 мм Ø, керамические подложки: 400 шт. 2"×2″ или 20 шт. 4"×4″ 30 пластин 300 мм Ø, 60 пластин, 200 мм Ø, керамические подложки: количество зависит от размера
Температура нагрева, °C До 1100 До 1100 До 1100 До 1100
Уровень вакуума, мбар 5×10 —2 5×10 —6 5×10 —6 5×10 —6
Габаритные размеры, мм 710×650×460  1,000×710×800  800×1900×1400  1000×1900×1400 
Питание 3 фазы, 400 VAC, 5 проводная схема подключения
16A, макс. мощность 7 кВт
3 фазы, 400 VAC, 5 проводная схема подключения 32А, макс. мощность 22 кВт 3 фазы, 400 VAC, 5 проводная схема подключения 32А, макс. мощность 22 кВт 3 фазы, 400 VAC, 5 проводная схема подключения 32А, макс. мощность 22 кВт
Масса основной системы (без опций), кг 45  270  475  540 
Состав конфигурации (на примере РЕО-603) для проведения спекания LTCC-структур
PEO-603-PLC Многофункциональная настольная печь PEO-603 вместимостью до 50 пластин 200 мм ø, либо 25 пластин 150 мм ø для LPCVD либо 120 подложек 4"×4″
Быстрый нагрев: макс. 60°C/мин до ~800°C, охлаждение от 1000°C до менее 100°C в течение 60 минут, при незагруженной печи.
Цилиндрическая камера из кварцевого стекла, 230 мм ø, 370 мм глуб., герметически закрывающаяся дверца из кварцевого стекла, на которых крепятся быстросменные носители подложек (макс. загрузка: 5 кг). Уровень у течек по гелию: ~ 10-8 мбар л/сек
PEO-603-SW ПО Windows NT/2000/XP для RS-232
PEO-603-60-GSH Лодочка из кварцевого стекла, крепящаяся к кронштейну на дверце печи. Лодочка имеет горизонтальную платформу и кварцевый канал с отверстиями для подачи газа. При закрывании дверцы печи платформа входит в камеру печи, а подача газа осуществляется через шаровое соединение трубки лодочки с основным каналом подачи газа (воздуха). Через отверстия в трубке газ подается ламинарным потоком без завихрений на штабель из чередующихся пластин SiC и LTCC пакетов, которые находятся на горизонтальной платформе. Газ, подогретый в лабиринте, проходит поры перфорации SiC пластин, и поступает к LTCC материалу, эффективно отводя летучие вещества связки.
PEO-603-841 Стойка для установки PEO-603. В стойке находятся источники высокого напряжения и силовая часть блоков питания. Согласно нормам DIN с 2007 г. эта часть должна быть конструктивно отделена от малоточных логических схем установки. Таким образом, стойка является конструктивной частью самой печи.
PHP-603-81-QGS Система предварительного нагрева газа. Спекание LTCC требует большого воздухообмена. При этом если воздух подается холодным, есть риск получения неоднородности теплового поля в камере. Эта опция — лабиринт из кварцевого стекла, который служит для предварительного подогрева подаваемого воздуха. Его наличие на порядок повышает качество поддержания температуры в камере.
PHP-603-LTCC-GD Система равномерного распределения газа на изделия.Обеспечивает оптимальную равномерность распределения температуры.
PEO-603-3TCS-PLC Улучшенная система контроля за температурой, включая 3 термопары K-типа. Базовая печь имеет одну контролирующую термопару на центральной зоне. Эта опция предусматривает наличие 3 контрольных термопар, включая заднюю стенукку, центр и переднюю стенку, что позволяет более точно регулировать температуру внутри камеры.
PEO-603-85A Блок водяного охлаждения замкнутого контура до 120°C, на основании водяного резервуара с циркуляционным насосом, нагревателем и теплообменником, чтобы избежать образования конденсата на рабочей камере. Антифриз поставляется вместе с системой. Замкнутый контур охлаждения с водоохладительным агрегатом, служит для охлаждения места примыкания уплотнителя дверцы из материала Viton к нагретой стенке камеры печи. Охлаждение системы водопроводной водой не рекомендуется в связи с риском повреждения и засорения внутреннего контура печи, поэтому замкнутая система водоохлаждения заполнена водно-гликолевой смесью. При желании заказчик может самостоятельно спроектировать собственную систему охлаждения, тогда эта опция не нужна.
PEO-603-EC-ZLG Система улучшенного охлаждения, включая один дополнительный вентагрегат с контроллером, подключаемый к вводу охлаждающего воздуха в камеру. Существенно повышает скорость охлаждения LTCC пакетов после спекания. в базовой модели воздух подается через менее мощный вентагрегат. С добавлением этой опции интенсивность воздухообмена в камере повышается до 650 м3 /час, этого достаточно для выполнения LTCC-профилей.

За дополнительной информацией или консультацией обратитесь к менеджерам компании «Глобал Микроэлектроника».

Офис в Москве

Глобал Микроэлектроника

Печи серии РЕО оснащены кварцевой быстросъёмной рабочей камерой и способны выполнять множество технологических задач, а компактные размеры значительно экономят площадь и позволяют установку двух печей одна над другой.

г.Москва Высоковольтный проезд, 1/49, офис 218

+7 495 902 7921

Время работы: