Вакуумные печи серии SRO станут ответом на любой вопрос в области термических процессов будь то флюсовая или бесфлюсовая пайка в вакууме, получение эвтектических соединений, отжиг пластин или герметизация корпусов
Полное описание
Вакуумные печи серии SRO - это наиболее функциональные установки для проведения термических процессов микроэлектроники. Принцип "камеры c холодными стенками" (Cold wall process chamber) применяемый в печах серии SRO с 1989 года и обеспечивающий равномерность нагрева позволил компании заработать репутацию ключевого игрока на рынке вакуумного оборудования для научных лабораторий и опытных производств ответственной электроники по всему миру.
В печах серии SRO применяется кондукционный принцип нагрева и охлаждения изделий при помощи легкосъемной пластины-носителя с низкой термической массой. Сама пластина быстро нагревается инфракрасными лампами, расположенными под ней. За счет использования газового охлаждения пластины достигается высокая скорость и равномерность охлаждения изделия.
Бюджетная установка SRO-700 выглядит очевидным выбором для оснащения лаборатории начального уровня - уже в базовой комплектации печь включает 3 газовых линии с расходомерами, в том числе с возможностью использовать муравьиную кислоту. Высота камеры в 100 мм позволяет проводить пайку модулей IGBT или герметизацию корпусов. Установка занимает мало места и может быть размещена на столе.
В "продвинутой" модели SRO-716 опционально можно использовать восстановление в парах водорода, создавать плазменную среду или проводить процессы под давление до 2 бар, устанавливать верхний нагреватель и систему флюсоулавливания. Равномерность нагрева пластины-носителя достигает 1%.
В комплекте с любой печью может быть разработана и поставлена оснастка для пайки по техническому заданию заказчика для всех типов модулей.
Основные возможности:
- максимальная температура пайки от 450 оС (стандарт) до 1000 оС (опционально)
- возможность прямого ИК-нагрева
- подведение нескольких термопар
- возможность создания вакуума до 10-6 бар
- возможность пайки в азоте, формир-газе, парах муравьиной кислоты, пайки под избыточным давлением и плазменной обработке
Область применения:
- вакуумная пайка на припойную пасту и преформы без флюса
- пайка силовых модулей, лазерных диодов, СВЧ-модулей на эвтектику AuSn, AuSi, AuGe и др.
- герметизация корпусов MEMS / MOEMS с активацией геттера
- быстрая закалка
- термокопрессионный монтаж кристаллов
- отжиг полупроводниковых материалов
Параметры
| SRO 700 | SRO 714 | SRO 716 | |
| Среда процесса | азот, форминг-газ, муравьиная кислота |
азот, форминг-газ, муравьиная кислота, водород, плазма с частотой 40 кГц/ 2,45 ГГц |
азот, форминг-газ, муравьиная кислота, водород, плазма с частотой 40 кГц/ 2,45 ГГц |
| Давление | вакуум, атмосферное | вакуум, атмосферное, положительное до 2 бар (опц.) | вакуум, атмосферное, положительное до 2 бар (опц.) |
| Максимальный вакуум, мбар | 5×10-2 (для SRO-700), 5×10-6 (для SRO-714/16) | ||
| Максимальная рабочая температура, °C | 450 ±0,2 (опционально — до 750) | ||
| Нагреваемая поверхность | легкосъемная пластина алюминиевый сплав / керамическая / графитовая | легкосъемная пластина алюминиевый сплав / керамическая / графитовая | легкосъемная пластина алюминиевый сплав/ керамическая / графитовая |
| Рабочая область, мм | 230×217 | 230×217 | 314×314 |
| Высота рабочей камеры, мм | 100 для SRO-700 / 40,70,100 - для SRO-714/16 | ||
| Нагреватели | 8 ИК-ламп по 750 Вт | 12 ИК-ламп по 750 Вт | 14 ИК-ламп по 750 Вт |
| Параметры нагрева | >3,5°С/сек (на поверхности алюминиевого мармита, >20°С/сек (прямой ИК-нагрев) | ||
| Параметры охлаждения | >2°С/сек. (ускоренное остывание при подаче газа) | ||
| Равномерность температуры | < ±2-3% для SRO-700, < ±1% для SRO-716 | ||
| Контроль инертной среды |
программный, датчики потока газа опционально мониторинг содержания кислорода/воды/пара/утечек гелия |
||
| Управление |
ПК на основе Windows 7; контроллер PLC с возможностью программирования программ до 100 шагов |
||
| Охлаждение стенок камеры | водяное | ||
| Охлаждение пластины | газовое | ||
| Габариты без насосного блока, мм | 770×560×800 | 960×720×1340 | 960×720×1340 |
| Тип размещения | настольный | напольный | напольный |
| Масса, кг | ~54 | ~250 | ~300 |
| Подключение |
380 В, 16 A, 50 Гц, трехфазная 5-проводная схема |
400 В, 32 A, 50 Гц трехфазная 5-проводная схема, до 17 кВт |
400 В, 32 A, 50 Гц трехфазная 5-проводная схема, 17 кВт |
Отзывы
В технологическом процессе также применяется:
установка ультразвковой микросварки
Установка серии 53XX — это идеальное решение для НИИ и лабораторий, университетов и опытных производств, отлично зарекомендовавшее себя на сотнях предприятий по всему миру.
