Универсальная установка вакуумной пайки ꜛ ATV SRO Универсальная установка вакуумной пайки ꜛ ATV SRO Универсальная установка вакуумной пайки ꜛ ATV SRO 714

Вакуумные печи серии SRO станут ответом на любой вопрос в области термических процессов будь то флюсовая или бесфлюсовая пайка в вакууме, получение эвтектических соединений, отжиг пластин или герметизация корпусов

Вакуумные печи серии SRO - это наиболее функциональные установки для проведения термических процессов микроэлектроники. Принцип "камеры c холодными стенками" (Cold wall process chamber) применяемый в печах серии SRO с 1989 года и обеспечивающий равномерность нагрева позволил компании заработать репутацию ключевого игрока на рынке вакуумного оборудования для научных лабораторий и опытных производств ответственной электроники по всему миру.

В печах серии SRO применяется кондукционный принцип нагрева и охлаждения изделий при помощи легкосъемной пластины-носителя с низкой термической массой. Сама пластина быстро нагревается инфракрасными лампами, расположенными под ней. За счет использования газового охлаждения пластины достигается высокая скорость и равномерность охлаждения изделия.

Бюджетная установка SRO-700 выглядит очевидным выбором для оснащения лаборатории начального уровня - уже в базовой комплектации печь включает 3 газовых линии с расходомерами, в том числе с возможностью использовать муравьиную кислоту. Высота камеры в 100 мм позволяет проводить пайку модулей IGBT или герметизацию корпусов. Установка занимает мало места и может быть размещена на столе.

В "продвинутой" модели SRO-716 опционально можно использовать восстановление в парах водорода, создавать плазменную среду или проводить процессы под давление до 2 бар, устанавливать верхний нагреватель и систему флюсоулавливания. Равномерность нагрева пластины-носителя достигает 1%.

В комплекте с любой печью может быть разработана и поставлена оснастка для пайки по техническому заданию заказчика для всех типов модулей.


Основные возможности:

  • максимальная температура пайки от 450 оС (стандарт) до 1000 оС (опционально)
  • возможность прямого ИК-нагрева
  • подведение нескольких термопар
  • возможность создания вакуума до 10-6 бар
  • возможность пайки в азоте, формир-газе, парах муравьиной кислоты, пайки под избыточным давлением и плазменной обработке

Область применения:

  • вакуумная пайка на припойную пасту и преформы без флюса 
  • пайка силовых модулей, лазерных диодов, СВЧ-модулей на эвтектику AuSn, AuSi, AuGe и др.
  • герметизация корпусов MEMS / MOEMS с активацией геттера
  • быстрая закалка
  • термокопрессионный монтаж кристаллов
  • отжиг полупроводниковых материалов
SRO 700 SRO 714 SRO 716
Среда процесса азот, форминг-газ, муравьиная кислота азот, форминг-газ, муравьиная кислота, водород,
плазма с частотой
40 кГц/ 2,45 ГГц
азот, форминг-газ, муравьиная кислота, водород,
плазма с частотой
40 кГц/ 2,45 ГГц
Давление вакуум, атмосферное вакуум, атмосферное, положительное до 2 бар (опц.) вакуум, атмосферное, положительное до 2 бар (опц.)
Максимальный вакуум, мбар  5×10-2 (для SRO-700), 5×10-6 (для SRO-714/16)
Максимальная рабочая температура, °C 450 ±0,2 (опционально — до 750)
Нагреваемая поверхность легкосъемная пластина алюминиевый сплав / керамическая / графитовая легкосъемная пластина алюминиевый сплав / керамическая / графитовая легкосъемная пластина алюминиевый сплав/ керамическая / графитовая
Рабочая область, мм 230×217 230×217 314×314
Высота рабочей камеры, мм 100 для SRO-700 / 40,70,100 - для SRO-714/16
Нагреватели 8 ИК-ламп по 750 Вт 12 ИК-ламп по 750 Вт 14 ИК-ламп по 750 Вт
Параметры нагрева >3,5°С/сек (на поверхности алюминиевого мармита, >20°С/сек (прямой ИК-нагрев)
Параметры охлаждения >2°С/сек. (ускоренное остывание при подаче газа)
Равномерность температуры < ±2-3% для SRO-700, < ±1% для SRO-716
Контроль инертной среды программный, датчики потока газа
опционально мониторинг содержания кислорода/воды/пара/утечек гелия
Управление ПК на основе Windows 7; контроллер PLC
с возможностью программирования программ до 100 шагов
Охлаждение стенок камеры водяное
Охлаждение пластины газовое
Габариты без насосного блока, мм 770×560×800 960×720×1340 960×720×1340
Тип размещения настольный напольный напольный
Масса, кг ~54 ~250 ~300
Подключение 380 В, 16 A, 50 Гц,
трехфазная
5-проводная схема
400 В, 32 A, 50 Гц
трехфазная
5-проводная схема,
до 17 кВт
400 В, 32 A, 50 Гц
трехфазная
5-проводная схема,
17 кВт

За дополнительной информацией по продукции в каталоге обратитесь к специалистам компании «Глобал Инжиниринг».

В технологическом процессе также применяется:

F&S BONDTEC 53XX ꜛ

установка ультразвковой микросварки

Установка серии 53XX — это идеальное решение для НИИ и лабораторий, университетов и опытных производств, отлично зарекомендовавшее себя на сотнях предприятий по всему миру.

Офис в Москве

Глобал Микроэлектроника

Вакуумные печи серии SRO предназначены для проведения любого термического вакуумного процесса в корпусировании: пайка в вакууме, герметизация, отжиг пластин, бондинг. Быстрый нагрев и охлаждение. Полезная площадь от 217х228 мм. Поставка и пусконаладка оборудования.

г.Москва Высоковольтный проезд, 1/49, офис 218

+7 495 902 7921

Время работы: